Verbundprojekt im Rahmen des BMBF-Programms
Mathematik für Innovationen in Industrie und Dienstleistungen

Modellreduktion zur schnellen Simulation neuer Halbleiterstrukturen in der Nanotechnologie und Mikrosystemtechnik
--MoreSim4Nano--

Aktuelles:

Die MoreSim4Nano-Mitarbeiter organisierten die ModRed 2013, welche von 11.-13.12.2013 am MPI Magdeburg stattfand.
Projektkoordinator:

Prof. Dr. Peter Benner

Max-Planck-Institut für Dynamik komplexer technischer Systeme, 39106 Magdeburg
Tel: +49 (0)391-6110-451
E-mail: benner@mpi-magdeburg.mpg.de: Max-Planck-Institut für Dynamik komplexer technischer Systeme, 39106 Magdeburg; Tel: +49 (0)391-6110-451; E-mail: benner@mpi-magdeburg.mpg.de
Schematische Übersicht:
Laufzeit:

01.10.2010-30.09.2013
Zusammenfassung:

Ein wesentlicher Aspekt bei der Entwicklung neuer Halbleiterstrukturen für die Nanotechnologie und Mikrosystemtechnik ist die weiter voranschreitende Miniaturisierung der Strukturen einerseits und die Erhöhung der Arbeitsfrequenzen andererseits. Strukturen im Nanobereich erfordern dabei ggf. die Berücksichtigung von Quanteneffekten, und die hohe Dichte elektronischer Leiter induziert Störeffekte wie das Übersprechen. Um solche Effekte bereits in der Designphase einbeziehen zu können, sind genaue Kenntnisse der Halbleiterstrukturen und des umgebenden elektromagnetischen (EM) Felds nötig. Ein weiterer Effekt, der eine nicht mehr zu vernachlässigende Rolle spielt, sind Variationen der Strukturbreiten, die durch Ungenauigkeiten im lithographischen Herstellungsprozess entstehen. Die daraus erfolgenden Prozessschwankungen müssen in der Simulation berücksichtigt werden, was Modelle mit parametrischen Unsicherheiten erforderlich macht. Um die aufgrund der erheblichen Kosten für die Prototypfertigung im Entwurf und Design unerlässliche Simulation neuentwickelter Mikro- und Nanosysteme durch Tools des Computer-Aided Engineering (CAE) in annehmbarer Rechenzeit durchführen zu können, ist eine Modellordnungsreduktion (MOR) der verwendeten Modelle unumgänglich.

Das Verbundprojekt wird in 6 Teilprojekten mit 4 Industriepartnern in den Arbeitsgruppen von
Prof. Dr. Peter Benner, MPI Magdeburg
Prof. Dr. Matthias Bollhöfer, TU Braunschweig
Prof. Dr. Heike Faßbender, TU Braunschweig
Prof. Dr. Michael Hinze, Universität Hamburg
Dr. Patrick Lang, Fraunhofer-Institut für Techno- und Wirtschaftsmathematik (ITWM) Kaiserslautern
Dr. Tatjana Stykel, Universität Augsburg
Prof. Dr. Thomas Weiland, TU Darmstadt
Dr. Carsten Hammer, Infineon Technologies AG
Prof. Dr. Irina Munteanu, Computer Simulation Technology AG
Andreas Ripp, MunEDA GmbH
Dr. Herwig Döllefeld, X-FAB Semiconductor Foundries AG
bearbeitet.

Weitere Informationen zum Verbundprojekt finden Sie hier. Die einzelnen Teilprojekte sind auf den jeweiligen Seiten (siehe Navigation links) sowie auf Mathematik 21 näher beschrieben. Bei MoreSim4Nano handelt es sich um den Nachfolger des Verbundsprojektes Systemreduktion für IC Design in der Nanoelektronik (SyreNe).

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